序號

計畫名稱

技術名稱

成果年度

1

半導體產業低碳製造技術計畫

用於微影製程的檢測方法與檢測平台

114

2

工研院創新前瞻技術研究計畫

無線晶圓式電漿量測技術

114

3

工研院創新前瞻技術研究計畫

高階析X-ray影像檢測技術

114

4

工研院創新前瞻技術研究計畫

蛋白質濃度分析樣品前處理設備

114

5

工研院創新前瞻技術研究計畫

METALENS品質量測技術

114

6

工研院創新前瞻技術研究計畫

連續式微流道線上監控技術

114